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よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み リソグラフィ技術の核心に迫る

佐藤 淳一／著

秀和システム 2011.10 (図解入門)

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 持禁区分 状態
オーテピア高知図書館 M4F書庫 /549.7/ｻﾄ/ 1106629312 一般   利用可 iLisvirtual

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タイトル よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み
副書名 リソグラフィ技術の核心に迫る,微細化の鍵
叢書名 図解入門 , Visual Guide Book
叢書副書名 How‐nual
著者 佐藤 淳一 ／著  
著者典拠番号 110005670310000
出版者 秀和システム
出版地 東京
出版年 2011.10
ページ数 271p
大きさ 21cm
言語 日本語
一般件名 リソグラフィー , 半導体
一般件名典拠番号 510268700000000 , 511311800000000
NDC分類(9版) 549.7
内容紹介 リソグラフィの基礎から発展までの技術を、プロセスフローを例にして豊富なイラストで分かりやすく解説した入門書。半導体製造現場に近い視点も取り入れ、歴史的経緯にも触れながら説明する。
ISBN 4-7980-3063-0
ISBN13桁 978-4-7980-3063-0
本体価格 ¥2000
資料情報1 『よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み リソグラフィ技術の核心に迫る』（図解入門）　佐藤 淳一／著 　秀和システム　2011.10（所蔵館：オーテピア高知図書館　 請求記号：/549.7/ｻﾄ/　 資料コード：1106629312）
URL
https://opac.library.kochi.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1109397975

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