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ナノ加工技術ハンドブック

ナノ加工技術ハンドブック編集委員会／編

大阪公立大学出版会 2025.11

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 持禁区分 状態
オーテピア高知図書館 3Fビジネス /549/ﾅﾉ/ 1112901390 一般   利用可 iLisvirtual

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館別所蔵

所蔵数 貸出中数 貸出可能数
合計

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タイトル ナノ加工技術ハンドブック
著者 ナノ加工技術ハンドブック編集委員会 ／編  
著者典拠番号 210001713670000
出版者 大阪公立大学出版会
出版地 堺
出版年 2025.11
ページ数 9,457p
大きさ 26cm
言語 日本語
一般件名 電子工学 , ナノテクノロジー
一般件名典拠番号 511215500000000 , 510207500000000
NDC分類(9版) 549
内容紹介 ナノ加工を行う際に必要となる基礎から応用までの知識を、図表を交え包括的にわかりやすく解説。微細加工技術、ナノ加工のプロセス科学と装置、ナノ構造形成技術、評価・計測、デバイス応用を取り上げる。
ISBN 4-909933-97-3
ISBN13桁 978-4-909933-97-3
本体価格 ¥4000
資料情報1 『ナノ加工技術ハンドブック』　ナノ加工技術ハンドブック編集委員会／編 　大阪公立大学出版会　2025.11（所蔵館：オーテピア高知図書館　 請求記号：/549/ﾅﾉ/　 資料コード：1112901390）
URL
https://opac.library.kochi.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1120914913

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目次

1章 微細加工技術
  1.はじめに
  2.半導体リソグラフィ
  3.原子層無損傷プラズマエッチング技術
  4.レーザ加工
  5.レジスト材料と感光機構
2章 ナノ加工の基礎(プロセス科学と装置)
  1.はじめに
  2.電子・イオンビームと固体との相互作用
  3.電子ビーム照射のチャージアップ現象
  4.ビーム励起表面反応
  5.電子ビーム描画装置
  6.集束イオンビーム装置
3章 ナノ構造形成技術
  1.はじめに
  2.電子ビーム描画技術
  3.集束イオンビーム技術
  4.ナノインプリント技術
  5.走査プローブ顕微鏡によるナノ加工
  6.自己組織化
  7.ガスクラスターイオンビーム(GCIB)技術
  8.近接場リソグラフィ
4章 ナノ構造評価・計測
  1.はじめに
  2.走査電子顕微鏡(SEM)
  3.透過電子顕微鏡(TEM)
  4.測長SEM(CD-SEM)
  5.ヘリウムイオン顕微鏡
  6.走査プロープ顕微鏡(SPM)
5章 ナノ加工のデバイス応用
  1.はじめに
  2.単電子トランジスタ
  3.グラフェンデバイス
  4.フォトニック結晶デバイス
  5.プラズモニックスデバイス
  6.ナノメカニカルデバイス
  7.バイオナノデバイス
  8.バイオミメティクスデバイス

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