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新・半導体工場のすべて 設備・材料・プロセスからAI技術の活用まで

菊地 正典／著

ダイヤモンド社 2025.3

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 持禁区分 状態
オーテピア高知図書館 3Fビジネス /549.8/ｷｸ/ 1112543861 一般   貸出中

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館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
オーテピア高知図書館 1 1 0

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タイトル 新・半導体工場のすべて
副書名 設備・材料・プロセスからAI技術の活用まで
著者 菊地 正典 ／著  
出版者 ダイヤモンド社
出版年 2025.3
ページ数 239p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 半導体の最先端の技術やノウハウ、システムの凝縮された半導体工場の構成や機能について、さまざまな視点からわかりやすく解説する。世界の半導体工場の増設状況、「中工程」と呼ばれる新たな工程などを新章として加える。
ISBN 4-478-12201-3

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