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クリーンルームにおける静電気対策

鈴木 政典／著

日刊工業新聞社 2021.4

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タイトル クリーンルームにおける静電気対策
著者 鈴木 政典 ／著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2021.4
ページ数 168p
大きさ 21cm
一般件名 クリーンルーム , 静電気 , 帯電防止
NDC分類(9版) 528.2
内容紹介 クリーンルームを使う製造業において、静電気は、その帯電による塵埃の吸着、静電気放電など、製品不良や事故を引き起す大きな課題である。事例を引きながらクリーンルームにおける静電気障害を解説し、解決策を提示する。
ISBN 4-526-08128-6

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