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著者
『元良勇次郎著作集』刊行委員会
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1 件中、 1 件目
ドライプロセス表面処理大全
関東学院大学材料・表面工学研究所/編
日刊工業新聞社 2019.3 (技術大全シリーズ)
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所蔵
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状態
オーテピア高知図書館
3Fビジネス
/566.7/トラ/
1109446441
一般
利用可
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館別所蔵
館名
所蔵数
貸出中数
貸出可能数
オーテピア高知図書館
1
0
1
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資料詳細
タイトル
ドライプロセス表面処理大全
叢書名
技術大全シリーズ
著者
関東学院大学材料・表面工学研究所
/編
出版者
日刊工業新聞社
出版年
2019.3
ページ数
285p
大きさ
21cm
一般件名
金属表面処理
,
薄膜
NDC分類(9版)
566.7
内容紹介
真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。
ISBN
4-526-07968-9
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