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ドライプロセス表面処理大全

関東学院大学材料・表面工学研究所／編

日刊工業新聞社 2019.3 (技術大全シリーズ)

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 持禁区分 状態
オーテピア高知図書館 3Fビジネス /566.7/ﾄﾗ/ 1109446441 一般   利用可 iLisvirtual

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タイトル ドライプロセス表面処理大全
叢書名 技術大全シリーズ
著者 関東学院大学材料・表面工学研究所 ／編  
著者典拠番号 210001531820000
出版者 日刊工業新聞社
出版地 東京
出版年 2019.3
ページ数 285p
大きさ 21cm
言語 日本語
一般件名 金属表面処理 , 薄膜
一般件名典拠番号 510384100000000 , 511306800000000
NDC分類(9版) 566.7
内容紹介 真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。
ISBN 4-526-07968-9
ISBN13桁 978-4-526-07968-9
本体価格 ¥3000
資料情報1 『ドライプロセス表面処理大全』（技術大全シリーズ）　関東学院大学材料・表面工学研究所／編 　日刊工業新聞社　2019.3（所蔵館：オーテピア高知図書館　 請求記号：/566.7/ﾄﾗ/　 資料コード：1109446441）
URL
https://opac.library.kochi.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1120367344

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