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薄膜工学 第3版

日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画 金原 粲／監修

丸善出版 2016.11

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館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
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タイトル 薄膜工学
著者 日本学術振興会薄膜第131委員会 ／編集企画, 金原 粲 ／監修, 吉田 貞史 ／編著, 近藤 高志 ／編著  
出版者 丸善出版
出版年 2016.11
ページ数 10,302p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 薄膜分野に携わる研究者・技術者に最適な、基本技術の解説書。薄膜工学の基礎から、薄膜作製法、評価法、薄膜の機能と応用までをまとめる。近年広がりをみせる薄膜技術に対応するため、大幅な改訂を行った第3版。
ISBN 4-621-30098-5

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