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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する 第2版

佐藤 淳一／著

秀和システム 2016.8 (図解入門)

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 持禁区分 状態
オーテピア高知図書館 M4F書庫 /549.8/ｻﾄ/ 1108342872 一般   利用可
オーテピア高知図書館 M4F書庫 /549.8/ｻﾄ/ 0111629357 一般   利用可

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館別所蔵

館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
オーテピア高知図書館 2 0 2

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タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
副書名 製造装置の全体を俯瞰する,あなたの知らない日本の実力がわかる
叢書名 図解入門 , Visual Guide Book
著者 佐藤 淳一 ／著  
出版者 秀和システム
出版年 2016.8
ページ数 259p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
ISBN 4-7980-4726-3

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