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これからのMEMS LSIとの融合

江刺 正喜／共著 小野 崇人／共著

森北出版 2016.6

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 持禁区分 状態
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館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
オーテピア高知図書館 1 0 1

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タイトル これからのMEMS
副書名 LSIとの融合
著者 江刺 正喜 ／共著, 小野 崇人 ／共著  
出版者 森北出版
出版年 2016.6
ページ数 5,151p
大きさ 22cm
一般件名 マイクロマシン
NDC分類(9版) 530
内容紹介 最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用について解説する。「はじめてのMEMS」の続編。
ISBN 4-627-77551-0

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