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フォトレジスト材料開発の新展開

上田 充／監修

シーエムシー出版 2015.11 (エレクトロニクスシリーズ)

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 持禁区分 状態
オーテピア高知図書館 3Fビジネス /549.7/ﾌｵ/ 1108136738 一般   利用可

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館別所蔵

館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
オーテピア高知図書館 1 0 1

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タイトル フォトレジスト材料開発の新展開
叢書名 エレクトロニクスシリーズ
著者 上田 充 ／監修  
出版者 シーエムシー出版
出版年 2015.11
ページ数 7,317p
大きさ 26cm
一般件名 リソグラフィー , 感光性樹脂
NDC分類(9版) 549.7
内容紹介 現在多方面で使用されている、また将来用いられる微細加工用レジスト材料。最前線で活躍している研究者たちが、その最新の技術動向や問題点、将来の展望について詳述する。
ISBN 4-7813-1039-8

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