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透明導電膜の技術 改訂３版

日本学術振興会透明酸化物光・電子材料第166委員会/編

オーム社 2014.4

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タイトル 透明導電膜の技術
著者 日本学術振興会透明酸化物光・電子材料第166委員会 /編  
出版者 オーム社
出版年 2014.4
ページ数 424p
大きさ 22cm
一般件名 薄膜 , セラミックス
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 透明導電性酸化物薄膜材料に関する技術解説書。透明導電膜の用途、材料、作製方法、微細加工の方法、測定法や、透明導電膜材料の基本的な性質などについて詳述する。内容を大幅に見直した改訂３版。
ISBN 4-274-21522-3
定価 ¥6000

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