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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

表面技術協会/編

コロナ社 2013.5

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オーテピア高知図書館 3Fビジネス /566.78/ﾄﾗ/ 1107210245 一般   利用可

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館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
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タイトル ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎
著者 表面技術協会 /編  
出版者 コロナ社
出版年 2013.5
ページ数 6,198p
大きさ 21cm
一般件名 金属表面処理 , 薄膜
NDC分類(9版) 566.7
内容紹介 ドライプロセスの基礎を学ぼうとする初学者のための入門書。ドライプロセスとプラズマに関する概要と歴史的発展過程から、真空とプラズマの基礎、代表的なドライプロセスの原理・原則、薄膜・表面評価分析技術までを解説する。
ISBN 4-339-04631-1
ISBN13桁 978-4-339-04631-1

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