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EUV光源の開発と応用

豊田 浩一/監修 岡崎 信次/監修

シーエムシー出版 2013.3 (エレクトロニクスシリーズ)

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 持禁区分 状態
オーテピア高知図書館 3Fビジネス /549.95/ｲﾕ/ 1107053314 一般   利用可

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館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
オーテピア高知図書館 1 0 1

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タイトル EUV光源の開発と応用
叢書名 エレクトロニクスシリーズ
著者 豊田 浩一 /監修 岡崎 信次 /監修  
出版者 シーエムシー出版
出版年 2013.3
ページ数 273p
大きさ 26cm
一般件名 紫外線 , リソグラフィー
NDC分類(9版) 549.95
内容紹介 ＥＵＶ露光装置の特質、露光装置側から見たＥＵＶ光源開発の課題、マスクの状況、レジスト材料の課題など、それぞれ専門的な開発事項についてより広い視点で解説。
ISBN 4-7813-0709-1
定価 ¥4400

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