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はじめての薄膜作製技術 第2版

草野 英二／著

森北出版 2012.11

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 持禁区分 状態
オーテピア高知図書館 3Fビジネス /549.8/ｸｻ/ 1107142760 一般   利用可 iLisvirtual

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タイトル はじめての薄膜作製技術
著者 草野 英二 ／著  
著者典拠番号 110004643320000
版表示 第2版
出版者 森北出版
出版地 東京
出版年 2012.11
ページ数 7,160p
大きさ 22cm
言語 日本語
一般件名 薄膜
一般件名典拠番号 511306800000000
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 現代社会を支える基盤技術として欠くことのできない薄膜作製技術。その基礎から、真空蒸着法やスパッタリング法といった真空下における薄膜製作方法、薄膜の評価技術、応用までを解説する。
ISBN 4-627-77452-0
ISBN13桁 978-4-627-77452-0
本体価格 ¥2500
資料情報1 『はじめての薄膜作製技術』第2版　草野 英二／著 　森北出版　2012.11（所蔵館：オーテピア高知図書館　 請求記号：/549.8/ｸｻ/　 資料コード：1107142760）
URL
https://opac.library.kochi.jp/winj/opac/switch-detail.do?lang=ja&bibid=1109493665

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