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よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み リソグラフィ技術の核心に迫る

佐藤 淳一/著

秀和システム 2011.10 (図解入門)

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オーテピア高知図書館 M4F書庫 /549.7/ｻﾄ/ 1106629312 一般   利用可

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館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
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タイトル よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み
副書名 リソグラフィ技術の核心に迫る,微細化の鍵
叢書名 図解入門 , Visual Guide Book
著者 佐藤 淳一 /著  
出版者 秀和システム
出版年 2011.10
ページ数 271p
大きさ 21cm
一般件名 リソグラフィー , 半導体
NDC分類(9版) 549.7
内容紹介 リソグラフィの基礎から発展までの技術を、プロセスフローを例にして豊富なイラストで分かりやすく解説した入門書。半導体製造現場に近い視点も取り入れ、歴史的経緯にも触れながら説明する。
ISBN 4-7980-3063-0
定価 ¥2000

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