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薄膜工学 第２版

金原 粲/監修 吉田 貞史/編著

丸善出版 2011.6

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 持禁区分 状態
オーテピア高知図書館 M4F書庫 /549.8/ﾊｸ/ 1106485863 一般   利用可

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館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
オーテピア高知図書館 1 0 1

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タイトル 薄膜工学
著者 金原 粲 /監修 吉田 貞史 /編著 近藤 高志 /編著 日本学術振興会薄膜第131委員会 /編集企画  
出版者 丸善出版
出版年 2011.6
ページ数 295p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた２次元・３次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。
ISBN 4-621-08414-4
定価 ¥3800

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