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はじめてのMEMS

江刺 正喜/著

森北出版 2011.3

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 持禁区分 状態
オーテピア高知図書館 M4F書庫 /530/ｴｻ/ 1106263724 一般   利用可

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館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
オーテピア高知図書館 1 0 1

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タイトル はじめてのMEMS
著者 江刺 正喜 /著  
出版者 森北出版
出版年 2011.3
ページ数 230p
大きさ 21cm
一般件名 マイクロマシン
NDC分類(9版) 530
内容紹介 最先端技術ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだＭＥＭＳの基礎から製作、要素、応用までをわかりやすく解説する。
ISBN 4-627-78491-8
定価 ¥2500

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