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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する

佐藤 淳一/著

秀和システム 2010.5 (図解入門)

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オーテピア高知図書館 M4F書庫 /549.8/ｻﾄ/ 1105967549 一般   利用可

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館名 所蔵数 貸出中数 貸出可能数
オーテピア高知図書館 1 0 1

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タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
副書名 製造装置の全体を俯瞰する,技術力の真髄
叢書名 図解入門 , Visual Guide Book
著者 佐藤 淳一 /著  
出版者 秀和システム
出版年 2010.5
ページ数 231p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
ISBN 4-7980-2610-7
定価 ¥1800

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