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1 件中、 1 件目
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する
佐藤 淳一/著
秀和システム 2010.5 (図解入門)
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状態
オーテピア高知図書館
M4F書庫
/549.8/サト/
1105967549
一般
利用可
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館別所蔵
館名
所蔵数
貸出中数
貸出可能数
オーテピア高知図書館
1
0
1
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資料詳細
タイトル
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
副書名
製造装置の全体を俯瞰する,技術力の真髄
叢書名
図解入門
,
Visual Guide Book
著者
佐藤 淳一
/著
出版者
秀和システム
出版年
2010.5
ページ数
231p
大きさ
21cm
一般件名
半導体
NDC分類(9版)
549.8
内容紹介
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
ISBN
4-7980-2610-7
定価
¥1800
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